Polvere lucidante di allumina calcinata in lastre per la levigatura e la lucidatura di wafer
La polvere lucidante di allumina calcinata a piastre è un abrasivo di precisione di alta gamma, sviluppato specificamente per la levigatura dei wafer di semiconduttori e i processi di lucidatura CMP. A differenza dei tradizionali abrasivi angolari di allumina con bordi taglienti, questo prodotto presenta un’esclusiva struttura microscopica liscia a forma di piastra, altamente adatta alla lavorazione ultra-fine di substrati fragili e ad alta precisione come wafer di GaAs, wafer di silicio e wafer di zaffiro. È diventato un materiale essenziale per migliorare la finitura superficiale dei wafer e la resa produttiva nell’industria dei semiconduttori.
La polvere lucidante di allumina calcinata a lamelle è prodotta utilizzando polvere di allumina industriale di alta qualità come materia prima, tramite uno speciale processo produttivo. La forma cristallina della polvere lucidante di allumina prodotta è esagonale piatta, simile a una forma tabulare, da cui il nome di allumina a lamelle o allumina tabulare.
La purezza dell’allumina in lastre è superiore al 99% e presenta caratteristiche di resistenza al calore, alla corrosione da acidi e alcali e un’elevata durezza. A differenza delle tradizionali particelle abrasive sferiche, la superficie inferiore dell’allumina piana è piatta e le particelle aderiscono alla superficie del pezzo durante la rettifica, producendo un effetto di rettifica per scorrimento che impedisce agli spigoli vivi delle particelle di graffiare la superficie del pezzo. Inoltre, durante la rettifica, la pressione di rettifica dell’allumina piana è distribuita uniformemente sulla superficie delle particelle, che non si rompono facilmente e presentano una maggiore resistenza all’usura, migliorando così l’efficienza di rettifica e la finitura superficiale.
Per i materiali semiconduttori come i wafer di silicio, l’applicazione di piastre di ossido di alluminio può ridurre i tempi di rettifica, migliorare notevolmente l’efficienza di rettifica, ridurre le perdite della macchina rettificatrice, risparmiare manodopera e costi di rettifica e aumentare la percentuale di successo della rettifica. La qualità è paragonabile a quella di noti marchi esteri.
L’efficienza del processo di molatura del bulbo di vetro del tubo catodico è aumentata di 3-5 volte;
La percentuale di prodotti conformi è aumentata del 10-15%, e la percentuale di wafer di semiconduttori conformi raggiunge oltre il 99%;
Il consumo di materiale per la macinazione è inferiore del 40-40% rispetto alla normale polvere lucidante di allumina;
Composizione chimica
| Chimica | Valore della garanzia | Valore tipico |
| Al2O3 | ≥99,0% | 99,36% |
| SiO2 | <0,2% | 0,017% |
| Fe2O3 | <0,1% | 0,03% |
| Na2O | <0,6% | 0,35% |
Proprietà fisiche
| Materiale | α-Al2O3 |
| Colore | Bianco |
| Peso specifico | ≥3,9 g/cm³ |
| Durezza di Mohs | 9.0 |
Taglie disponibili
| Tipo | D3(um) | D50 (uno) | D94 (um) |
| HXTA45 | 50,5-56,2 | 33-38,5 | 20,7-24,5 |
| HXTA40 | 39-44.6 | 27,7-31,7 | 18-20 |
| HXTA35 | 35,4-39,8 | 23,8-27,2 | 15-17 |
| HXTA30 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
| HXTA25 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9,6-11,2 |
| HXTA20 | 20,9-24,1 | 13.1-15.3 | 8,2-9,8 |
| HXTA15 | 14,8-17,2 | 9.4-11 | 5,8-6,8 |
| HXTA12 | 11,8-13,8 | 7,6-8,8 | 4,5-5,3 |
| HXTA09 | 8,9-10,5 | 5,9-6,9 | 3.3-3.9 |
| HXTA05 | 6,6-7,8 | 4.3-5.1 | 2,55-3,05 |
| HXTA03 | 4,8-5,6 | 2,8-3,4 | 1,5-2,1 |
Applicazioni del prodotto
1) Industria elettronica: molatura e lucidatura di wafer di silicio monocristallino semiconduttore, cristalli di quarzo, semiconduttori composti (gallio cristallino, nanofosfatazione).
2) Industria del vetro: molatura e lavorazione di cristallo, vetro al quarzo, vetro per schermi di cinescopi, vetro ottico, substrato in vetro per display a cristalli liquidi (LCD) e cristallo al quarzo.
3) Industria dei rivestimenti: rivestimenti speciali e riempitivi per la spruzzatura al plasma.
4) Industria di lavorazione dei metalli e della ceramica: materiali ceramici di precisione, materie prime ceramiche sinterizzate, rivestimenti ad alta temperatura di alta qualità, ecc.
